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洁净室气密测试的检测步骤
日期：2025-09-05 04:46
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摘要：
1.将所测洁净室的温度控制在设计范围内并保持稳定，记录压力衰减测试过程中室内温度的变化(温度计或温度传感器的小示值不宜大于0．1℃)。
2.关闭所测洁净室围护结构上的门、传递窗等，关闭回风管(或排风管)上的气密阀门，不得在风口上加其他密封措施，并维持各种孔洞缝隙的密封现状。
3.开启送风，使室内压力上升至已商定的测试压力(压力计量程至少为测试压力的1．5倍，小示值不宜大于10Pa)，压力稳定后，停止送风，关闭送风阀门。
4.或反之关闭送风管上的阀门，如果送风管上无阀或阀不严，应在送风口上用塑料膜加盲板的方法封住风口，开启排风，使室内压力下降至已商定的测试压力，压力稳定后，停止排风，关闭排风气密阀门。
5.从停上送(排)风起，记录压力随时间衰减的数据，每1min记录1次压差和温度，连续记录至室内压力下降至初始压力的一半时止。
6.测试结束后慢慢打开风阀，使房间压力恢复到正常状态。
7.如果需要进行重复测试，20min后进行。